真空ポンプ

●組込の用途には、振動や衝撃の伝達緩和用に防振ゴムをご使用ください。●適合機種：DA-15D、DA-30S、DA-30D、DA-60S、DA-41D、DA-81SDA-60D、DA-120S、DAP-15、DAP-30、DAU-20、DTU-20、DTC-22、DTC-41、DTC-60●M4

商品コード：

2500204497142

●組込の用途には、振動や衝撃の伝達緩和用に防振ゴムをご使用ください。●適合機種：DAT-50D、DAT-100S、DA-121D、DA-241S、DAL-181D、DAL-361S、DTC-120、GLD-040、GLD-051、GLS-051、GCD-051X●M5

商品コード：

2500204497159

●組込の用途には、振動や衝撃の伝達緩和用に防振ゴムをご使用ください。●適合機種：DOP-40D、DOP-80S、DOP-80SP●M5

商品コード：

2500204497166

●組込の用途には、振動や衝撃の伝達緩和用に防振ゴムをご使用ください。●適合機種：DAT-50D、DAT-100S、DA-121D、DA-241S、DAL-181D、DAL-361S、DTC-120、GHD-101、GLD-040、GLD-051、GLS-051、GLD-137AA、GLD-137CC、GLD-202AA、GLD-202BB、GLD-280A、GCD-051X、GCD-136X、GCD-201X●M5

商品コード：

2500204497210

●ステンレス製の本体に特殊なフィルターを内蔵した吸気フィルターです。●真空配管内への油の逆拡散を防止します。●油の逆拡散防止用●取付方法：IN・OUT共KF-25●適合機種200L/min以下●取付はKF-25クランプが必要です。●密閉式のため、フィルターの交換はできません。●フォアライントラップ取付けにより、真空ポンプの排気速度・到達圧力が低下します。

商品コード：

2500204579053

●G-5DA、G-10DA、G-20DA、G-25SA、G-50DA、G-50SA用オイルレベルゲージです。●適合機種：G-5DA、G-10DA、G-20DA、G-25SA、G-50DA、G-50SA

商品コード：

2500204579343

●G-20DA、G-25SA、G-50DA、G-50SA、GLS-051、GLD-040、GLD-051用オイルシールです。●適合機種：G-20DA、G-25SA、G-50DA、G-50SA、GLS-051、GLD-040、GLD-051●HTC-11-25-7●NBR

商品コード：

2500204579350

●本製品は本体はステンレス製でフィルターエレメントはグラスウールを使用した特殊なオイルミストセパレーターです。●耐食型油回転真空ポンプGCDシリーズの排気口に取付けることによるオイルミストを除去し、清浄な排気を行うことができます。●オイルミストの除去●適合機種：GCD-051X●取付方法：IN・OUT共KF-25●ケミカルタイプ、インライン型(接続口NW-25) GCD-051X用 ※取付にはフイックカップリングクランプ(KF-25)が別途必要です。●取付はKF-25クランプが必要です。●密閉型構造のため、フィルターの交換はできません。

商品コード：

2500204579541

●本製品は本体はステンレス製でフィルターエレメントはグラスウールを使用した特殊なオイルミストセパレーターです。●耐食型油回転真空ポンプGCDシリーズの排気口に取付けることによるオイルミストを除去し、清浄な排気を行うことができます。●オイルミストの除去●適合機種：GCD-136X、GCD-201X●取付方法：IN・OUT共KF-25●ケミカルタイプ、インライン型(接続口NW-25) GCD-136X・201X用 ※取付にはフイックカップリングクランプ(KF-25)が別途必要です。●取付はKF-25クランプが必要です。●密閉型構造のため、フィルターの交換はできません。

商品コード：

2500204579558

●配管接続型のオイルミストトラップです。●オイルミストの除去●適合機種：G-100D、G-100S●取付方法：ネジ込み●適合機種100L/min以下●エレメント(フィルター)のみの交換も可能です。

商品コード：

2500204579565

●OMT-050A専用●品名：OMT050A ELEMENT●外径(mm)：70●全高(mm)：90●全長(mm)：40●OMT-050A オイルミストトラップ用の交換エレメントです。

商品コード：

2500204579572

サイズ：

●外径：７０ｍｍ●全高：９０ｍｍ●全長：４０ｍｍ

●油回転真空ポンプの性能を最大限に引き出す専用オイルです。●ポンプ油の交換はできるだけ頻繁に行ってください。●寒冷時にも始動性が良いように粘度を低くしています。●潤滑、冷却、シールを目的とした油回転真空ポンプ専用オイル。●オイルの劣化は、油回転真空ポンプの到達圧力に大きく影響しますのでこまめに交換することをお勧めします。●適合機種：GHD●容量：1L缶●オイルの劣化は、油回転真空ポンプの到達圧力に大きく影響しますのでこまめに交換することをお薦めします。

商品コード：

2500204625101

●油回転真空ポンプの性能を最大限に引き出す専用オイルです。●ポンプ油の交換はできるだけ頻繁に行ってください。●寒冷時にも始動性が良いように粘度を低くしています。●潤滑、冷却、シールを目的とした油回転真空ポンプ専用オイル。●オイルの劣化は、油回転真空ポンプの到達圧力に大きく影響しますのでこまめに交換することをお勧めします。●適合機種：GHD●容量：4L缶●オイルの劣化は、油回転真空ポンプの到達圧力に大きく影響しますのでこまめに交換することをお薦めします。

商品コード：

2500204630044

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです｡●接ガス部には油､水などは使用していないドライ真空ポンプです｡●サーマルプロテクタを内蔵し､安全面も配慮しました｡●シンプル構造でメンテナンスも容易です｡●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。

商品コード：

2500205429814

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです｡●接ガス部には油､水などは使用していないドライ真空ポンプです｡●サーマルプロテクタを内蔵し､安全面も配慮しました｡●シンプル構造でメンテナンスも容易です｡●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。

商品コード：

2500205429869

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです｡●接ガス部には油､水などは使用していないドライ真空ポンプです｡●サーマルプロテクタを内蔵し､安全面も配慮しました｡●シンプル構造でメンテナンスも容易です｡●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。

商品コード：

2500205429876

●参考寿命:6000~8000h●適用機種:DA-30D/DA-60S●吸排気管径(mm):O.D.φ12×I.D.φ8(Rc1/4)●ULVAC ダイアフラム型ドライ真空ポンプ用部品●NBR

商品コード：

2500205429913

●DAT-50D/100S用のダイアフラムです｡●吸排気管径(mm):O.D.φ12×I.D.φ8(Rc1/4)●適合機種:DAT-50D/DAT-100S●参考寿命:6000~8000h●部品名:ダイアフラム●NBR

商品コード：

2500205430209

●DAT-50D/100S用のポンプヘッドガスケットです｡●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種:DAT-50D/DAT-100S●ULVAC ダイアフラム型ドライ真空ポンプ用部品●参考寿命:6000~8000h●部品名:ヘッドガスケット●NBR

商品コード：

2500205430216

●ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです｡●複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより､通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています｡●広域型ターボ分子ポンプのバックポンプ●クライオポンプ排気系のバックポンプ●メカニカルブースターポンプのバックポンプ●ロードロック室排気●吸着搬送、ハンドリング●レーザーガス循環・排気用●真空乾燥装置、凍結真空乾燥装置

商品コード：

2500205430223

●コンパクトで､持ち運びが容易です｡●水を使用しないアスピレーターです｡●常に安定した吸引力が得られます｡●真空計を見ながら任意の圧力に設定できます｡●吸引したガスの排出口を備えていて､外気またはダクトへの配管が容易です｡●ロータリーエバポレーター。●遠心エバポレーター。●真空ろ過。

商品コード：

2500205671756

●ステンレス製の本体に特殊なフィルターを内蔵した吸気フィルターです｡●真空配管内への油の逆拡散を防止します｡●油の逆拡散防止用●適合機種:50(L/min)以下●取付方法:IN・OUT共KF-25●ステンレス製●取付はKF-25クランプが必要です。●密閉式のため、フィルターの交換はできません。●フォアライントラップ取付けにより、真空ポンプの排気速度・到達圧力が低下します。

商品コード：

2500205706502

●ステンレス製の本体に特殊なフィルターを内蔵した吸気フィルターです｡●真空ポンプへの粉体や液体の混入を防止します｡●粉体、水分混入防止用●適合機種:50(L/min)以下●取付方法:IN・OUT共KF-25●ステンレス製●取付はKF-25クランプが必要です。●密閉式のため、フィルターの交換はできません。●フォアライントラップ取付けにより、真空ポンプの排気速度・到達圧力が低下します。

商品コード：

2500205706519

●ステンレス製の本体に特殊なフィルターを内蔵した吸気フィルターです｡●真空ポンプへの粉体や液体の混入を防止します｡●粉体、水分混入防止用●適合機種:200(L/min)以下●取付方法:IN・OUT共KF-25●ステンレス製●取付はKF-25クランプが必要です。●密閉式のため、フィルターの交換はできません。●フォアライントラップ取付けにより、真空ポンプの排気速度・到達圧力が低下します。

商品コード：

2500205706526

●G-101D､G-101S､GHD-031A､GHD-031B､GLD-040､GLD-051､GLD-137AA､GLD-137CC､GLD-202AA､GLD-202BB､GLD-280A用オイルキャップです｡●適合機種:G-101D､G-101S､GHD-031A､GHD-031B､GLD-040､GLD-051､GLD-137AA､GLD-137CC､GLD-202AA､GLD-202BB､GLD-280A●PPS

商品コード：

2500205706663

●GLD-136/GLD-201他｡●用オイルドレーンプラグです｡●適合機種:GLD-136/GLD-201他●金属製

商品コード：

2500205706687

●G-101D､G-101S､GHD-101A用オイルレベルゲージです｡●適合機種:G-101D､G-101S､GHD-101A●PC

商品コード：

2500205706694

●GHD-031/GHD-031A/GHD-031B用オイルレベルゲージです｡●適合機種:GHD-031/GHD-031A/GHD-031B●PC

商品コード：

2500205706700

●GCD-136X､GCD-201X用オイルシールです｡●適合機種:GCD-136X､GCD-201X●HTC-17-40-9●FPM

商品コード：

2500205706717

●G-101D､G-101S､GLD-137AA､GLD-137CC､GLD-202AA､GLD-202BB､GLD-280A用オイルシールです｡●適合機種:G-101D､G-101S､GLD-137AA､GLD-137CC､GLD-202AA､GLD-202BB､GLD-280A●HTC-17-40-9●NBR

商品コード：

2500205706724

●OMT-100A専用エレメントです｡●適合機種:OMT-100A●OMT-100A オイルミストトラップ用の交換エレメント●エレメント

商品コード：

2500205707806

●OMT-200A専用エレメントです｡●適合機種:OMT-200A●OMT-200A オイルミストトラップ用の交換エレメント●エレメント

商品コード：

2500205707813

●G-20DA､G-25SA､G-50DA､G-50SA､G-101D､G-101S､GHD-031A､GHD-031B用Oリングです｡●適合機種:G-20DA､G-25SA､G-50DA､G-50SA､G-101D､G-101S､GHD-031A､GHD-031B●P-8●NBR

商品コード：

2500205709053

●GLD-040､GLD-051用Oリングです｡●適合機種:GLD-040､GLD-051●S-3●NBR

商品コード：

2500205709060

●GLS-051､GLD-040､GLD-051用Oリングです｡●適合機種:GLS-051､GLD-040､GLD-051●V-150●NBR

商品コード：

2500205709077

●GLD-137AA､GLD-137CC､GLD-202AA､GLD-202BB用Oリングです｡●適合機種:GLD-137AA､GLD-137CC､GLD-202AA､GLD-202BB●V-175●NBR

商品コード：

2500205709084

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：120/144●到達圧力(Pa)：13.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：14●電源(V)：単相100●全幅(mm)：162●全長(mm)：358●全高(mm)：238.0●寸法(mm)：162×358×238.0●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201447553

サイズ：

●吸気口径：１４ｍｍ●全幅：１６２ｍｍ●全長：３５８ｍｍ●全高：２３８．０ｍｍ

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。●サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：120/144●到達圧力(Pa)：13.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：14●電源(V)：単相200●全幅(mm)：162●全長(mm)：358●全高(mm)：238.0●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201447560

サイズ：

●吸気口径：１４ｍｍ●全幅：１６２ｍｍ●全長：３５８ｍｍ●全高：２３８．０ｍｍ

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：120/145●到達圧力(Pa)：3.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：16●電源(V)：単相100●全幅(mm)：193.5●全長(mm)：411●全高(mm)：285●寸法(mm)：193.5×411×285●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●「DA-121D」「DA-241S」には、バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にするシステムです。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取除く必要があります。

商品コード：

2500201447577

サイズ：

●吸気口径：１６ｍｍ●全幅：１９３．５ｍｍ●全長：４１１ｍｍ●全高：２８５ｍｍ

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-121D●ダイアフラム×2、バルブA×3、バルブ押えA×2、バルブC×1、排気フィルタ×1、Oリング(P-48)×4、Oリング(P-18)×2、Oリング(N-15)×2、吸気フィルタ×1、バルブ押えB×2

商品コード：

2500201447584

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：12/15●到達圧力(Pa)：6.65×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：132●全長(mm)：203●全高(mm)：182.0●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。●「DA-15D」「DA-30S」の長時間連続運転はポンプ寿命を縮めます。

商品コード：

2500201447669

サイズ：

●吸気口径：９ｍｍ●全幅：１３２ｍｍ●全長：２０３ｍｍ●全高：１８２．０ｍｍ

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-15D、DA-30S●ダイアフラム×2、バルブ×2、フィルタ×4、テフロンライナー×2、Oリング(P-30)×4

商品コード：

2500201447676

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：20/24●到達圧力(Pa)：5.33×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：118●全長(mm)：242●全高(mm)：178.0●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201447836

サイズ：

●吸気口径：９ｍｍ●全幅：１１８ｍｍ●全長：２４２ｍｍ●全高：１７８．０ｍｍ

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-20D、DA-40S●ダイアフラム×2、吸排気弁×4、エアーフィルタ×2、ポンプヘッドカバーガスケット×2

商品コード：

2500201447843

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：240/260●到達圧力(Pa)：16.0×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：16●電源(V)：単相100●全幅(mm)：207●全長(mm)：411●全高(mm)：285●寸法(mm)：207×411×285●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●高速高圧用●バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にするシステムです。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201447911

サイズ：

●吸気口径：１６ｍｍ●全幅：２０７ｍｍ●全長：４１１ｍｍ●全高：２８５ｍｍ

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-241S●ダイアフラム×2、バルブA×2、バルブ押えA×2、バルブC×2、排気フィルタ×1、Oリング(P-48)×4、Oリング(P-18)×2、Oリング(N-15)×4、吸気フィルタ×1、バルブ押えB×2

商品コード：

2500201447928

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：30/36●到達圧力(Pa)：6.70×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：212●全長(mm)：278●全高(mm)：224.5●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201448055

サイズ：

●吸気口径：９ｍｍ●全幅：２１２ｍｍ●全長：２７８ｍｍ●全高：２２４．５ｍｍ

●ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。●修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。●お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。●適合機種：DA-30D、DA-60S●ダイアフラム×2、ヘッドガスケット×2、吸排気弁×4、エアーフィルタ×4

商品コード：

2500201448062

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：24/30●到達圧力(Pa)：26.6×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：132●全長(mm)：203●全高(mm)：182.0●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。●「DA-15D」「DA-30S」の長時間連続運転はポンプ寿命を縮めます。

商品コード：

2500201448079

サイズ：

●吸気口径：９ｍｍ●全幅：１３２ｍｍ●全長：２０３ｍｍ●全高：１８２．０ｍｍ

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz：40/46●到達圧力(Pa)：19.9×10[[の3乗]]●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅(mm)：128●全長(mm)：242●全高(mm)：178.0●電源コード長さ(m)：1.8●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●低速低圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品コード：

2500201448345

サイズ：

●吸気口径：９ｍｍ●全幅：１２８ｍｍ●全長：２４２ｍｍ●全高：１７８．０ｍｍ